������Ҫ�����ں��������P�������ұ����߀���ڰ댧�w���칤ˇ�еĻ��W������e�����w���L�������������ӡ��Uɢ���ྦྷ�衢�u�����x��ע�롢�d�������Y��������ICP������ɫ�V�x�ȃx�����d�����˜ʚ⡢ƽ��������c�����

  �a(ch��n)Ʒ���Q���߼���� Һ��

  �������Q��Һ�B(t��i)��⣬�߼����

  ����ʽ�� Ar

���đ��ã�

  ���P䓺��ӱ��o���w

  �X�Ͻ𺸽ӱ��o���w

  �~�Ͻ�ĺ��ӱ��o���w

  �߼����V������ICP���V�x

  �߼����V�����ڹ�(ji��)�ܟ����ן�����չ���������w

  �߼��������ArF�ʷ��Ӽ�����w

  ���������������ИI(y��)����

ע����헣�

  ���ܵ���ԓ���ܷ�����©�����ṩ���õ���Ȼͨ�L�l����

  �����ˆT��횽�(j��ng)�^���T��Ӗ���������ز���Ҏ(gu��)�̣���ֹ���wй©�����������՚�����

  ���\�r�p�b�pж����ֹ�ƿ�������Ɠp�����й©����̎���O����

  �����һ�N�oɫ���oζ���o���IJ�ȼ���ă����ښ�ƿ�еĸ߉����w��

  ���京�����ӌ������⺬������19.5%�r�п���������Ϣ���������ʽ���������

  ƿ�b���w�a(ch��n)Ʒ��߉����b���w��ʹ�Õr����(j��ng)�p�������󷽿�ʹ����

  ���b�Ě�ƿ�Ͼ���ʹ�õ����ޣ������ڵĚ�ƿ��������в��T�M�а�ȫ�z��������^�m(x��)ʹ����

  ÿƿ���w��ʹ�õ�β��r��������ƿ��������0.5MPa����С���õ���0.25MPa����������ƿ�y�P�]���Ա��C���w�|����ʹ�ð�ȫ��

  ƿ�b���w�a(ch��n)Ʒ���\ݔ���桢ʹ�Õr������ѷ���������ȼ���w�c��ȼ���w�ѷ���һ�𣬲��ʿ�������͟�Դ���������������մ���D���𱬕������ؒ�����ײ���������ښ�ƿ�����M��������늻�������Ұ�U�bж��